GP-16.2 - 高压摆式隔离阀
GP-16.2 高真空摆式隔离阀 提供稳定可靠的隔离性能,并兼具 低颗粒数 与 低颗粒活化率。特别平滑的启闭动作显著提升了颗粒控制性能,非常适用于对洁净度要求严
GP-16.8 - 大型高压摆式隔离阀
GP-16.8 大型高真空摆式隔离阀 在恶劣的工艺条件下依然能够提供可靠的隔离性能,是大流量真空系统中隔离要求的理想选择,特别适用于 大型涂层设备 或 平板显示
GP-65.3 - 高真空控压摆阀
GP-65.3 高精度控压摆阀 为下游压力控制与真空隔离设立了**标准,专为 半导体生产系统 和 平板显示器制造系统 而设计。该系列在 宽流导范围内 提供极高的
GP-65.5 - 高真空控制摆阀
GP-65.5 高真空控制摆阀 提供高度可控的流导曲线,其平稳的启闭动作可将颗粒数和颗粒生成水平降至极低,这也是其核心优势之一。 该系列专为苛刻工艺而设计,例
GP-24.4 高真空角阀
GP-24.4 高真空角阀 的核心优势在于 **的可靠性与灵活的可变性。该系列专为应对 高污染甚至轻微污染的气流 而设计,且支持大尺寸制造,目前已生产出 口径高
GP-28.4 超高真空角阀
GP-28.4 超高真空角阀 具备 5 × 10⁻¹⁰ mbar 至 5 bar(绝压) 的宽压力范围,并以其 **的低放气性能 而闻名。该系列专为需要极高真空
GP-25.1 - 高真空钢瓶阀(内联型)
GP-25.1 高真空钢瓶阀 适用于在 任何条件下均需实现可靠隔离 的高真空工艺,尤其是含有腐蚀性物质及颗粒的苛刻气体环境,例如 次晶圆厂工艺。该系列提供 角型
GP-25.2 - 高真空钢瓶阀(三-双向型)
GP-25.2 高真空钢瓶阀 适用于 任何条件下都需要可靠隔离 的高真空工艺环境,尤其是在含有腐蚀性物质及颗粒的苛刻气体场景中,例如 次晶圆厂工艺。该系列提供
GP-25.7 真空止回阀
GP-25.7 高真空止回阀 专为提供 理想的回流保护 而设计,能够在任何回流事件中快速且可靠地进行紧急隔离,防止回流气体进入工艺室或管道系统。
GP-01.0小型超高真空闸阀
GP-01.0 小型超高真空闸阀系列旨在提供可靠的阀板密封,同时不产生任何摩擦。阀板密封经硫化处理后,具备**加可靠、持久的密封性能,并在低颗粒产生量和低释
GP-01.2 - 小型闸阀
GP-01.2 小型闸阀系列 采用 GPTECH 专利锁定密封技术,旨在提供可靠的阀板密封,同时在阀板密封过程中不产生任何摩擦。该技术可将阀板机械锁定在关
GP-08.1 - 可嵌入闸阀
GP-08.1 可嵌入闸阀 专为在较小空间内实现可靠隔离而设计,可在无需法兰的情况下直接安装在两段相连的管道之间,显著减少安装占用空间。 该系